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碳化硅单晶炉供电系统电能质量分析及技术改造

作  者:
杜广平
单  位:
新疆天科合达蓝光半导体有限公司
关键词:
碳化硅;单晶炉;电能质量;谐波
摘  要:
针对碳化硅单晶炉供电系统的电能质量状况,对产生谐波的原因及对电网造成的危害进行了分析。通过对该类负载的特性分析,提出了采用有源电力滤波器进行电能质量治理的解决方案,并取得了很好的滤波和节能效果。

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