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Position: Home > Articles > The Study of Optical Waveguides Pesticides Sensor Journal of Agricultural Mechanization Research 2010,32 (9) 64-66+70

农药浓度光波导传感制备工艺研究

作  者：
邹任玲;杨帅;陈抱雪;王逸鸣
单  位：
上海理工大学医疗器械与食品学院;上海理工大学光电学院;同济大学
关键词：
有机磷农药;导波光学;光波导技术;磁控溅射;均匀折射率波导
摘  要：
研究了农药浓度的光波导传感制备工艺,采用磁控溅射技术,在石英基板上制备康宁1737玻璃波导的工艺;同时,分析了成膜条件以及控制膜厚的因素。实验结果表明,溅射功率和靶基距是影响溅射沉积速率的关键因素,采用射频功率为100～200W、靶基距为4～6cm,衬底温度为20～25℃、真空度为0.38Pa、溅射时间为2～4h的工艺条件可以获得较快的沉积速率并形成良好的单膜波导,可为农药浓度的检测提供一种新的方法。
译  名：
The Study of Optical Waveguides Pesticides Sensor
作  者：
Zou Renling1a,1b,Yang Shuai2,Chen Baoxue1b,Wang Yiming1b ( 1. a. Medical College; b. Photoelectronic College,University of Shanghai for Science and Technology,Shanghai 200093,China; 2. College of Automobile Tongji University,Shanghai 201804,China)
关键词：
organophosphorus pesticides; guided wave optics; optical waveguide technology; magnetron sputtering; uniform refractive index
摘  要：
This paper studies the optical waveguide sensing the concentration of pesticides preparation,the corning 1737 glass waveguide formation technology were studied using magnetron sputtering on quartz substrates,and the film-forming conditions that control the film thickness were analysized. Experimental results show that sputtering power and sputtering target-substrate distance are the key factors of that deposition rate. The formation of good single-film waveguide. and a faster deposition rate can be got when RF power is 100 ～ 200W,target -substrate distance of 4 ～ 6cm,substrate temperature of 20 ～ 25 ℃ ,the vacuum degree 0. 38Pa,sputtering time of 2 ～ 4h. A new approach was provided for the detection concentration test of pesticide

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